一、引言

目前國(guó)內(nèi)外智能交通行業(yè)車輛檢測(cè)裝置采用的技術(shù)除了最早研發(fā)的地感線圈技術(shù)以外，還包括光電技術(shù)、超聲波技術(shù)、微波技術(shù)、視頻技術(shù)等，然而后面幾種技術(shù)容易受到日照、風(fēng)雨、電磁場(chǎng)等外界干擾，應(yīng)用范圍受到很大的限制，因此地感線圈仍為主要的檢測(cè)手段。地感線圈作為車輛檢測(cè)器，是在道路表層下埋置環(huán)形感應(yīng)線圈，以測(cè)定電感變化檢測(cè)車輛是否存在。地感線圈雖然是相對(duì)成熟的車輛檢測(cè)技術(shù)，但仍有許多缺點(diǎn)。利用AMR (Anisotropic Magneto Resistant)各向異性磁傳感器進(jìn)行的地磁車輛檢測(cè)，通過檢測(cè)汽車對(duì)地磁信號(hào)的擾動(dòng)，判斷車輛的到位及通過，從而實(shí)現(xiàn)車輛信息的分析、控制及管理，具有安裝簡(jiǎn)便、抗干擾能力強(qiáng)、集成化程度高等更多優(yōu)點(diǎn)。

二、AMR各向異性磁阻傳感器的工作原理

物質(zhì)在磁場(chǎng)中電阻發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為磁電阻效應(yīng)。磁電阻效應(yīng)有基于霍爾效應(yīng)的普通磁電阻效應(yīng)和各向異性磁電阻效應(yīng)之分。對(duì)于強(qiáng)磁性金屬(鐵、鈷、鎳及其合金)，當(dāng)外加磁場(chǎng)平行于磁體內(nèi)部磁化方向時(shí)， 電阻幾乎不隨外加磁場(chǎng)而變; 當(dāng)外加磁場(chǎng)偏離金屬的內(nèi)磁化方向時(shí)，金屬的電阻減小，這就是各向異性磁電阻效應(yīng)。

AMR各向異性傳感器的基本單元是用一種長(zhǎng)而薄的坡莫(Ni-Fe)合金用半導(dǎo)體工藝沉積在以硅襯底上制成的，沉積的時(shí)候薄膜以條帶的形式排布，形成一個(gè)平面的線陣以增加磁阻的感知磁場(chǎng)的面積。外加磁場(chǎng)使得磁阻內(nèi)部的磁疇指向發(fā)生變化，進(jìn)而與電流的夾角發(fā)生變化，就表現(xiàn)為磁阻電阻各向異性的變化。從圖1可以清楚地看到，坡莫合金薄膜的電阻依賴于磁化強(qiáng)度M 和電流I 方向的夾角θ ，即

計(jì)算式

式中，R// —電流方向與磁化方向平行時(shí)的電阻;R⊥—電流方向與磁化方向垂直時(shí)的電阻。

當(dāng)電流方向與磁化方向平行時(shí)，傳感器最敏感。而一般磁阻都工作于圖中45°線性區(qū)附近，這樣可以實(shí)現(xiàn)輸出的線性特性。

系統(tǒng)原理圖

美國(guó)霍尼韋爾公司磁阻傳感器HMC102是一款性能優(yōu)秀的磁阻傳感器，其核心部分是由4個(gè)帶狀坡莫合金薄膜構(gòu)成的惠斯通電橋。當(dāng)其暴露在變化磁場(chǎng)中時(shí)，其電阻有所改變(ΔR)，引起相應(yīng)輸出電壓的變化，圖2所示是HMC1021的輸出曲線，在磁場(chǎng)±6Gauss內(nèi)有一個(gè)靈敏度為1mV/Gauss的線性區(qū)域，可精確提供磁場(chǎng)強(qiáng)度和方向變化的信息。通過將兩個(gè)各向異性的磁阻傳感器接在一起，該部件成為兩軸傳感器，將其水平安裝后，能夠?qū)⑷魏嗡酱艌?chǎng)分為X軸和Y軸向量分量。圖3表示HMC1022傳感器中該傳感器的組合。當(dāng)磁場(chǎng)方向?yàn)锽S方向的地球磁場(chǎng)時(shí)，傳感器將磁場(chǎng)分成Bx、By向量分量。這樣，Bx、By就既能代表分方向，也能代表BS的幅值。當(dāng)有鐵磁性物質(zhì)靠近傳感器時(shí)，BS的方向和幅值就會(huì)發(fā)生變化。要注意的是，該器件在曝露于強(qiáng)磁場(chǎng)范圍內(nèi)使用時(shí)必須進(jìn)行合適的置位/復(fù)位操作。霍尼韋爾磁傳感器提供了在當(dāng)?shù)卮艌?chǎng)范圍內(nèi)非常靈敏的磁阻傳感器?？蓽y(cè)量幾十微高斯的磁場(chǎng)，這是霍爾元件所不能做到的。由于它的體積小、全固態(tài)、在某些場(chǎng)合下可以取代磁通門傳感器。