近年來，MEMS傳感器在消費(fèi)類電子產(chǎn)品中的應(yīng)用呈現(xiàn)快速增長的趨勢，在智能手機(jī)、平板電腦、筆記本電腦等智能移動終端、物聯(lián)網(wǎng)相關(guān)的智能電子標(biāo)簽、智能玩具等領(lǐng)域得到越來越多的應(yīng)用。

士蘭微電子在三年多前開始進(jìn)行MEMS傳感器技術(shù)和產(chǎn)品的研發(fā)，得益于設(shè)計/制造一體的模式，士蘭微電子在MEMS傳感器件的設(shè)計、信號處理芯片的設(shè)計、MEMS芯片工藝制造技術(shù)、MEMS封裝技術(shù)、傳感器測試技術(shù)等相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域投入了全方位的研發(fā)資源，并于近期取得實質(zhì)性進(jìn)展，推出了三軸加速度傳感器SC7A30和三軸磁傳感器SC7M30。

這兩款產(chǎn)品均采用3.0mm x 3.0mm x 1.0mm的LGA封裝，可應(yīng)用于智能手機(jī)和平板電腦等各種場合。更小尺寸外形(2.0mm x 2.0mm x 1.0mm)的產(chǎn)品即將在年內(nèi)推向市場。

士蘭微電子的加速度傳感器采用厚多晶質(zhì)量塊技術(shù)方案，磁傳感器采用鐵電薄膜材料的各向異性磁阻效應(yīng)(AMR)制作。這兩類傳感器的芯片制造均在士蘭微電子的芯片生產(chǎn)線上完成，封裝在士蘭微電子的封裝工廠進(jìn)行。

經(jīng)過三年多的技術(shù)研發(fā)，士蘭微電子已經(jīng)掌握了加速度和磁傳感器研發(fā)與生產(chǎn)、測試各個環(huán)節(jié)的核心技術(shù)。同時，設(shè)計制造一體的模式將有利于產(chǎn)品質(zhì)量/成本的控制，公司陸續(xù)推出的MEMS傳感器產(chǎn)品將以其優(yōu)良的性能和極具競爭力的價格打破歐美廠家的壟斷。

士蘭微電子的MEMS傳感器研發(fā)得到了國家科技重大專項的支持，目前同時在進(jìn)行的研發(fā)項目還有陀螺儀和壓力傳感器產(chǎn)品，預(yù)計今年年內(nèi)還將推出三軸陀螺儀產(chǎn)品以及6軸/ 9軸組合傳感器產(chǎn)品。