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MEMS加速度傳感器在心率檢測儀中應用

2013-09-24 14:59 來源:電子信息網 作者:蒲公英

一、概述

目前國際上已把婦幼保健指標作為衡量社會生產、經濟發展的敏感指標。我國規定的體現小康水平的健康指標、人均期望壽命、嬰兒死亡率、孕產婦死亡率等指標都大部分需要通過婦幼保健來實現。現在醫院常規的產前檢查包括測胎心、胎位、量血壓、稱體重、測腹圍和宮底高度等。其中檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀,用人工計數很難測量準確。而具有數字顯示功能的超聲多普勒胎心監護儀,價格昂貴,僅為少數大醫院使用,在中、小型醫院及廣大的農村地區無法普及。此外,超聲振動波作用于胎兒,會對胎兒產生很大的不利作用 盡管檢測劑量很低,也屬于有損探測范疇,不適于經常性、重復性的檢查及家庭使用。

本項目基于VTI公司的SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器,提出一種無創胎心檢測方法,研制出一種簡單易學、直觀準確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監護儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫療輔助儀器。

二、 SCA600C13H1G

SCA600C13H1G硅電容式加速度傳感器是由單晶硅和玻璃制成。這種設計能夠保證,隨著時問和溫度的變化,產品具有很好的可靠性、準確性和穩定性。它的電容檢測原理簡單而且可靠,是基于兩個平行板間距的變化來測量的。一對平行板間的電容和電荷存儲量取決于平行板間的間距和板面積。 產品的密封結構降低了封裝要求。微粒或化學物質不能進入傳感器內,從而保證了產品的可靠性。 產品的雙電容器結構和對稱性設計改善了產品的零點穩定性、線性度和橫向靈敏度。通常,溫度系數小于0.05FS/~C,橫向靈敏度小于3%。這種新型傳感器有如下特點;緊湊的結構,低功耗,可靠性好,性能優異。

VTI的加速度傳感器是基于已經得到證明的3D-MEMS技術制作的。三維微電子機械系統(3D-MEMS ),是各種技術的創新性組合,可以將硅加工成三維結構,其封裝和觸點便于安裝和裝配,用這種技術制作的傳感器具有極好的精度、極小的尺寸和極低的功耗。一個高級的傳感器僅由一小片硅就能制作出來,并能測量三個互相垂直方向的加速度。

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加速度傳感器 MEMS

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