根據市場研究機構IHS報告顯示，2013年高價值微機電系統(MEMS)傳感器市場將延續2012年的穩定增長態勢，營收將增長6.3%。
2013年高價值MEMS傳感器市場營收將從去年的15億美元增長至16億美元。今年營收增長約1億美元與2012年營收從2011年的14.1億美元增至15億美元持平。這一營收表現是工業領域市場的相對低迷和石油/天然氣探測以及民用航空等增長領域的共同作用而形成的，在石油/天然氣探測和民用航空領域都要用到慣性MEMS和壓力傳感器。
2014年該市場營收將再度增長1.3億美元，然后開始加速成長，在2016年和2017年各自增長1.7億美元。到2017年，高價值 MEMS 市場規模將達到22.1億美元，五年期內的復合增長率為8%。
高價值MEMS傳感器的平均售價可以達到數萬美元。該市場高度分散，21種產品可以用于超過100種不同的應用，為各種大、中、小型集成廠商留下足夠的生存空間，這些集成廠商買進MEMS半導體，并將之封裝為傳感器。
因此，和其他市場或行業相比，前十大高價值MEMS供應商所占的市場份額相對較小，剛剛超過42%。盡管如此，高價值MEMS的溢價意味著該市場足以養活超過120家的知名公司。
測試測量應用將占高價值MEMS銷售額的絕大部分，為行業收入的四分之一。與軍事和民用航天、醫療電子和工業應用一起，這四個領域將占2013年高價值MEMS市場營收的80%。
建筑和家庭控制領域目前僅占高價值MEMS市場營收的很小部分，不到10%，盡管如此，在未來5年這一領域將快速增長實現營收翻倍。在建筑和家庭控制領域值得關注的應用有智能建筑、安全攝像頭、遠程溫度傳感器、地震監測和天然氣計量。
2013年，高價值MEMS市場的主導者仍是壓力傳感器，已經超過了用于半導體晶圓檢測的晶圓探針卡。壓力傳感器的應用領域非常廣泛，從賽車到工業過程監控，到用于手術的一次性血液傳感器，飛機發動機和氣壓數據，再到輪船的液壓檢測。
今年與高價值MEMS器件同樣重要的還有微型測輻射熱儀——用于消防、執法和監測系統的紅外輻射熱源探測傳感器陣列。此外，加速度計和噴墨打印頭也在MEMS市場中占有較大份額。
活躍在高價值MEMS市場的主要廠商有美國加州的FormFactor、日本Micronics 、新澤西州Honeywell以及紐約通用電氣，后兩家廠商都致力于生產壓力傳感器。此外，還有俄勒岡州的紅外攝像頭廠商FLIR。
日本愛普生以其打印頭業務而聞名，法國Ulis和馬薩諸塞州Raytheon則專注于微型測輻射熱儀。
此外，還有日本村田以及生產慣性傳感器的芬蘭VTI和馬薩諸塞州Analog Devices。
